蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司
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訪問次數(shù):422更新時(shí)間:2019-04-12 11:33:42
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
測量顯微鏡STM7
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
測量顯微鏡STM7
測量顯微鏡溯源系統(tǒng)
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)
常見問題
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量。
STM7解決方案
共有四種*的正方形測量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm,200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測量的樣品。
采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
300mm長的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。