光刻潔凈實(shí)驗(yàn)室

潔凈度：百級(jí)/千級(jí)

用途：光刻間/濕法間配套環(huán)境

配套1：磁控濺射潔凈室

配套2：循環(huán)水機(jī)/尾氣處理等

光刻潔凈實(shí)驗(yàn)室

• 產(chǎn)品描述: 半導(dǎo)體設(shè)備超凈實(shí)驗(yàn)室,百級(jí)光刻潔凈室,千級(jí)工藝潔凈室,潔凈實(shí)驗(yàn)室內(nèi)放置半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體及電子測(cè)試與測(cè)量設(shè)備,有百級(jí)光刻間,千級(jí)濕法腐蝕間（排風(fēng)聯(lián)動(dòng)）,千級(jí)工藝設(shè)備間，灰區(qū)設(shè)置在回風(fēng)走廊內(nèi)，準(zhǔn)潔凈區(qū)。

• 百級(jí)光刻潔凈室、光刻機(jī)、顯微鏡

  
  千級(jí)濕法間、千級(jí)濕法腐蝕間、新風(fēng)排風(fēng)聯(lián)動(dòng)控制、顯影-清洗臺(tái)潔凈室、腐蝕臺(tái)潔凈室
  
  千級(jí)半導(dǎo)體工藝潔凈室、磁控濺射潔凈室
  
  千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室、千級(jí)工藝潔凈室、磁控濺射潔凈室
  
  灰區(qū)：回風(fēng)技術(shù)夾層、準(zhǔn)潔凈室、循環(huán)水機(jī)、空壓機(jī)、尾氣處理準(zhǔn)潔凈室
   

  灰區(qū)：回風(fēng)技術(shù)夾層、準(zhǔn)潔凈區(qū)、工藝氣體