全套機(jī)組由羅茨泵、旋片泵、管道、閥門、電控箱等組成。其極限壓力可達(dá)5.0＊ 10-2Pa 高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組是以高真空油擴(kuò)散泵為主泵的一套完整的抽氣系統(tǒng)，擴(kuò)散泵采用五級(jí)拉伸技術(shù)，泵的極限壓力5.0＊ 10-5Pa，返油率低，抽速大，高真空機(jī)組極限壓力可達(dá)3.0＊ 10-4Pa。
高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組被廣泛的應(yīng)用于電子、冶金、化工、原子能工程及空間模擬等領(lǐng)域。
高真空油擴(kuò)散泵性能指標(biāo)：
型 號(hào)     極限壓Pa    抽速L/s   主泵加熱功率(kW)
KT-200    8.0×10-5    2000      1.8
KT-300    8.0×10-5    4500      3
KT-320    5.5×10-5    5000      4
KT-400    5.5×10-5    8000      4.5
KT-500    5.5×10-5    12500     6.9
KT-600    5.5×10-5    18000     8.4
KT-800    5.5×10-5    28000     16
KT-1000   5.5×10-5    40000     24
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備 真空機(jī)組

進(jìn)口真空產(chǎn)品阿爾卡特ALCA真空系列
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