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1、流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量（無需溫度和壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量測量電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥，通過閉環(huán)控制來控制通過的流量，并使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。左圖為MFC和流量顯示儀連接后的工作原理圖：
圖1:氣體質(zhì)量流量控制器原理圖
控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質(zhì)量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質(zhì)量流量控制器的檢測范圍為2~*滿刻度（量程比為50：1），流量分辨率為0.1%滿刻度。
注意: 氣體質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時也可以當(dāng)成氣體質(zhì)量流量計使用。這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示是不準(zhǔn)確的，而且還可能出現(xiàn)流量增大、顯示減小的現(xiàn)象，但這些不會損壞質(zhì)量流量控制器。
2、氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構(gòu)成了流量控制器。
3、氣體質(zhì)量流量控制器和氣體質(zhì)量流量計的應(yīng)用范圍
MFC和MFM可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
應(yīng)用對象：質(zhì)量流量控制器應(yīng)用系統(tǒng)集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應(yīng)商、真空系統(tǒng)集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應(yīng)商、真空系統(tǒng)集成商、電池系統(tǒng)集成商、生化系統(tǒng)集成商、氣體裝配流水線集成商、大學(xué)實驗室、氣體公司、研發(fā)
圖1:氣體質(zhì)量流量控制器原理圖
控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質(zhì)量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質(zhì)量流量控制器的檢測范圍為2~*滿刻度（量程比為50：1），流量分辨率為0.1%滿刻度。
注意: 氣體質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時也可以當(dāng)成氣體質(zhì)量流量計使用。這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示是不準(zhǔn)確的，而且還可能出現(xiàn)流量增大、顯示減小的現(xiàn)象，但這些不會損壞質(zhì)量流量控制器。
2、氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構(gòu)成了流量控制器。
3、氣體質(zhì)量流量控制器和氣體質(zhì)量流量計的應(yīng)用范圍
MFC和MFM可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
應(yīng)用對象：質(zhì)量流量控制器應(yīng)用系統(tǒng)集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應(yīng)商、真空系統(tǒng)集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應(yīng)商、真空系統(tǒng)集成商、電池系統(tǒng)集成商、生化系統(tǒng)集成商、氣體裝配流水線集成商、大學(xué)實驗室、氣體公司、研發(fā)
