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      新一代晶圓熱電偶測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng)

      閱讀:70發(fā)布時(shí)間:2024-2-29

      新一代晶圓測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng)

      TC-WAFER晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái),測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別,可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值,也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況,還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化,了解升溫、降溫以及恒溫過程中設(shè)備的有效性。

      智測(cè)電子還提供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室過程的有線溫度計(jì)量,保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。

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      合肥智測(cè)電子致力于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制,為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國(guó)產(chǎn)解決方案


        TC為熱電偶(Thermocouple)的簡(jiǎn)稱。Tc Wafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布;同時(shí),也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等。(溫度的均勻與否,良率)

      TC Wafer主要應(yīng)用于PVD設(shè)備,CVD設(shè)備,RTA設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備工藝溫度均一性檢測(cè),用于判定半導(dǎo)體制程工藝是否存在溫度工藝缺陷的重要手段。

       

       如有其他問題,請(qǐng)隨時(shí)提問,我將竭誠(chéng)為您提供幫助。


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      測(cè)量范圍和精度可以根據(jù)您的要求進(jìn)行調(diào)整;
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      溫度響應(yīng)時(shí)間可以控制在微秒級(jí)別;
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      傳感器的材料和工藝可以滿足特定的應(yīng)用需求;
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      可以提供即插即用的安裝方式和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。


      我們可以根據(jù)您的具體需求,提供最合適的TC wafer傳感器解決方案,以確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取更多信息或定制服務(wù)。

        

      新一代晶圓測(cè)溫技術(shù)——TC wafer系統(tǒng) 
      TC-Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

      高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)




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