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傳感器的制造工藝
傳感器的發(fā)展和傳感器制造的工藝有著密切的,在近現(xiàn)代的科技發(fā)展中,制造工藝的進(jìn)步也促進(jìn)了傳感器制造業(yè)的進(jìn)步。傳感器在近現(xiàn)代主要的制造工藝有四種,分別是集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器。
1、集成傳感器
集成傳感器的生產(chǎn)工藝,和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進(jìn)行制造后,可以獲得更小的體積并集成更多的功能,部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能,來處理被測(cè)量信號(hào)。
2、薄膜傳感器
薄膜傳感器的制造涉及了納米等*技術(shù),薄膜傳感器的制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上,用敏感材料形成一層薄膜。薄膜傳感器在制作時(shí)也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng),這需要使用到混合工藝。
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