一.概述
TXY970質(zhì)量流量控制器 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。TXY970采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，TXY970也同樣適用。
二.質(zhì)量流量控制器使用范圍
它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
三. 產(chǎn)品特點(diǎn)
●直接熱式原理，無層流元件
●無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
●適用于各種低壓和高壓管道
●精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量
●預(yù)熱時(shí)間短,零漂小，可靠性高
●多種氣體可選,也可自行輸入
四.技術(shù)參數(shù)
1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM(ml/min) （0~1,2,3,5,10） SLM(L/min) |
2 | 準(zhǔn)確度 | +1.5%F.S |
3 | 線性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | +0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜50mA，控制器＜200mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
15 | 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
16 | 氣路街頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注意:
質(zhì)量流量計(jì)和出廠通常用氮?dú)?/span>(N?)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 滿量程值
五、產(chǎn)品選型
TXY970 | 質(zhì)量流量計(jì) | ||||||||
| 代碼 |
| |||||||
M1 | 現(xiàn)場液晶顯示 | ||||||||
M2 | 不帶顯示 | ||||||||
| 代碼 | 測量范圍 | |||||||
A | 5SCCM | ||||||||
B | 10SCCM | ||||||||
C | 客戶 | ||||||||
| 代碼 | 耐壓范圍 | |||||||
M | 3MPA | ||||||||
Z | 10MPA | ||||||||
| 代碼 | 密封材質(zhì) | |||||||
A | 氟橡膠 | ||||||||
B | 聚四氟乙烯 | ||||||||
C | 氯丁橡膠 | ||||||||
| 代碼 | 流量介質(zhì) | |||||||
L | 液體 | ||||||||
G | 氣體 | ||||||||
| 代碼 | 輸出信號(hào) | |||||||
A1 | 4-20MA | ||||||||
A2 | 0-5V | ||||||||
A3 | 1-5V | ||||||||
| 代碼 | 供電電壓 | |||||||
15 | 15V | ||||||||
24 | 24V | ||||||||
| 代碼 | 通訊方式 | |||||||
1 | RS485 | ||||||||
2 | RS232 | ||||||||
TXY970 | M1 | A | M | A | G | A | 24 | 1 | 選型舉例 |
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