美國(guó)FARRAND光柵位移傳感器

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20世紀(jì)50年代繼美國(guó)FARRAND公司開發(fā)感應(yīng)同步器之后，世界各國(guó)都在致力于發(fā)展位移數(shù)字測(cè)量系統(tǒng)，尋求新的測(cè)量技術(shù)和元件及其信息處理技術(shù)。

70年代是數(shù)字式位移傳感器蓬勃發(fā)展的年代，到目前為止已取得廣泛應(yīng)用的位移測(cè)量技術(shù)是感應(yīng)同步器、光柵、磁柵、容柵和球柵測(cè)量技術(shù)。與此同時(shí)，由于微電子技術(shù)的發(fā)展和微處理器的出現(xiàn)，使得數(shù)字測(cè)量系統(tǒng)飛速發(fā)展，數(shù)顯量?jī)x和機(jī)床數(shù)顯裝置也相繼出現(xiàn)。

儀表采用了數(shù)顯裝置后提高了測(cè)量精度和測(cè)量效率。機(jī)床采用數(shù)顯裝置后，也就是所謂的數(shù)顯機(jī)床，提高了加工精度和加工效率，并降低了廢品率，經(jīng)濟(jì)效益十分顯著。機(jī)床和量具量?jī)x的數(shù)顯化率反應(yīng)了一個(gè)國(guó)家的現(xiàn)代制造業(yè)的水平，70年代發(fā)達(dá)國(guó)家機(jī)床的數(shù)顯化率都在50%以上。

在數(shù)字位移測(cè)量系統(tǒng)的基礎(chǔ)之上，80年代才有數(shù)控裝置和數(shù)控機(jī)床進(jìn)一步的發(fā)展。半個(gè)多世紀(jì)以來，機(jī)床位移測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量分辨率也從5μm提高到1nm,機(jī)械加工精度也從1μm提升到0.01μm.由于光柵傳感器的精度高、分辨率高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好和制造技術(shù)成熟，當(dāng)前的位移測(cè)量系統(tǒng)中90%以上是光柵位移測(cè)量系統(tǒng)。

FARRAND高增益直線和旋轉(zhuǎn)型感應(yīng)式位置傳感器是為滿足用戶在尺寸、精度、輸出和環(huán)境條件等方面的特殊要求而專門設(shè)計(jì)的,在大量生產(chǎn)的條件下,能以每塊10至20美元的價(jià)格供貨。目前生產(chǎn)的直線型樣品可以達(dá)到很高的精度,其總精度優(yōu)于±0.00127毫米(±50微時(shí)),重復(fù)精度為±0.0005毫米(±20微時(shí))。傳感器的柵距可以任選,在給出主要輸出信號(hào)的同時(shí)可給出各種輔助功能信號(hào),如行程終止信號(hào)或軌跡定位信號(hào)等?；撞牧鲜侨芜x的,從鑄鋁到玻璃纖維帶都可以作為基底材料,熱時(shí)間常數(shù)可以調(diào)整到適于使用者的結(jié)構(gòu)要求,以消除因溫升帶來的精度誤差。

FARRAND高增益直線和旋轉(zhuǎn)型感應(yīng)式位置傳感器是為滿足用戶在尺寸、精度、輸出和環(huán)境條件等方面的特殊要求而專門設(shè)計(jì)的,在大量生產(chǎn)的條件下,能以每塊10至20美元的價(jià)格供貨。 目前生產(chǎn)的直線型樣品可以達(dá)到很高的精度,其總精度優(yōu)于士。.00127毫米(士50微時(shí)),重復(fù)精度為土0.000

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