電動執(zhí)行器與氣動執(zhí)行器從總體上來講，電動執(zhí)行器比氣動執(zhí)行器要貴，但也因具體的場合和要求來定。有些小功率的直流電機構成電動滑臺實際上要比啟動執(zhí)行器便宜，如：當負荷在1.5KG，工作行程80mm，速度在2~170mm/s之間、精度為¡0.1mm、加速度2.5m/s2等工況條件時，采用小型電動滑臺、控制器、馬達電纜、控制電纜、編程電纜以及電源電纜等組成的電動執(zhí)行機構，其價格就比氣動執(zhí)行機構便宜25%。同樣，對于帶活塞桿電缸也是如此。需要說明的是如果采用交流電機的話，所組成的電動執(zhí)行器的價格要比氣動執(zhí)行器高出40%左右。

氣動執(zhí)行機構與氣動執(zhí)行機構從購買和應用成本來看，氣動執(zhí)行機構還是具有比較明顯的優(yōu)勢的。對于氣動系統(tǒng)來說，控制系統(tǒng)及執(zhí)行機構都非常簡單，每個氣缸只需配置一個電磁閥就可完成氣路的切換，進行運動控制，氣缸發(fā)生故障的概率也比較小，維護簡單方便，成本也低。

電動執(zhí)行器相對于氣動執(zhí)行器來說，電能的獲得比較簡單，能量成本較低，但購買及應用成本較高，需要配置電機和一套機械傳動機構以及相應的驅動元件。使用電動執(zhí)行器需要很多保護措施，錯誤的電路連接、電壓的波動及負載的超載都會對電驅動器造成損壞，因此需要在電路及機械上加裝保護系統(tǒng)。另外，由于電動執(zhí)行器驅動單元的參數(shù)化設置較多，且集成度高，所以其一旦發(fā)生故障，就要更換整個元件。而且當系統(tǒng)需要的驅動力增加時，也要成套更換元件才能實現(xiàn)。