ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22系列

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更新時間：2024-10-16 09:58:23瀏覽次數(shù)：70次

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北京朗潤達科貿(mào)有限公司

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商鋪產(chǎn)品：738條

所在地區(qū)：北京

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產(chǎn)品簡介

美國ALICAT 22系列雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。22系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現(xiàn)......

詳細介紹

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%

● 高量程比 200：1

● 響應時間快僅需100 ms（可調(diào)）

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術指標

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"氣體兼容表
一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-99%FS～99%FS
顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應時間：100ms(可調(diào)) 預熱時間：<1s
標定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-99%,無冷凝
標準工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、硅、玻璃
安裝方式：對位置無要求防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們