消息稱臺積電已為明年生產(chǎn)下定13臺EUV光刻機(jī)：花了至少120億

2020-11-14 09:14:18來源：Techweb 關(guān)鍵詞：臺積電光刻機(jī)閱讀量：24639

導(dǎo)讀：來自Digitimes的新報道稱，臺積電為明年生產(chǎn)，已經(jīng)向ASML下定了至少13臺EUV光刻機(jī)。簡單估算的話，花費的金額超120億元人民幣。

　　臺積電和三星均已投入5nm工藝的量產(chǎn)，前者代工的產(chǎn)品包括蘋果A14、M1、華為麒麟9000等，后者則包括Exynos 1080以及傳言中的驍龍875等。

　　其實從7nm開始，臺積電和三星就開始引入EUV光刻，但過程層數(shù)較少。按照ASML(阿斯麥)的說法，迭代到5nm后，EUV的層數(shù)達(dá)到了14層，包括但不限于觸點、過孔以及關(guān)鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm，對EUV的依賴將更甚。

　　作為目前能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的荷蘭ASML來說，自然成了臺積電和三星爭搶的香餑餑，即便單臺價格達(dá)到了1.2億歐元(約合9.4億元人民幣)。

　　來自Digitimes的新報道稱，臺積電為明年生產(chǎn)，已經(jīng)向ASML下定了至少13臺EUV光刻機(jī)。簡單估算的話，花費的金額超120億元人民幣。

　　需要明白的是，EUV光刻機(jī)不是有錢就能買，因為ASML每年的產(chǎn)能非常有限，2019年全年才出貨了26臺，今年上半年出貨了13臺，截至三季度結(jié)束累計才出貨23臺。

　　另外，ASML定于明年中旬交付新一代EUV光刻機(jī)TWINSCAN NXE:3600D，生產(chǎn)效率提升18%、機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度改進(jìn)為1.1nm，不出意外的話，臺積電應(yīng)該是首批客戶。

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