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新一代晶圓熱電偶測溫技術——TC wafer系統(tǒng)
新一代晶圓測溫技術——TC wafer系統(tǒng)
TC-WAFER晶圓測溫系統(tǒng)應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區(qū)測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監(jiān)控半導體設備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。
智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量，保證溫度傳感器的長期測量精度。
合肥智測電子致力于高精度溫測、溫控設備的生產和研發(fā)定制，為半導體設備提供可靠的國產解決方案
TC為熱電偶（Thermocouple）的簡稱。Tc Wafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等。（溫度的均勻與否，良率）
TC Wafer主要應用于PVD設備，CVD設備，RTA設備等半導體設備工藝溫度均一性檢測，用于判定半導體制程工藝是否存在溫度工藝缺陷的重要手段。
如有其他問題，請隨時提問，我將竭誠為您提供幫助。
* 測量范圍和精度可以根據(jù)您的要求進行調整；
* 溫度響應時間可以控制在微秒級別；
* 傳感器的材料和工藝可以滿足特定的應用需求；
* 可以提供即插即用的安裝方式和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。
我們可以根據(jù)您的具體需求，提供最合適的TC wafer傳感器解決方案，以確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量。如有需要，請聯(lián)系我們獲取更多信息或定制服務。
| TC-Wafer晶圓測溫系統(tǒng) |
高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng) |
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