品牌:華林科納-CSE:設(shè)備用于1-6"硅片的半導(dǎo)體清洗過程中,去除工件表面的油污及其他有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。 1.設(shè)備由五大部分組成:清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。2.清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件,包括氣動閥,PFA管道,全氟循環(huán)系統(tǒng),保證工作介質(zhì)(酸、堿)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。4.工藝過程全自動,機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制,可存儲多條工藝時(shí)序,方便使用。5.人機(jī)界面為觸摸屏,方便直觀。6.除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成
蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司由*蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所與北京華林偉業(yè)合資成立??偼顿Y4500萬元。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、液晶濕制程設(shè)備、真空設(shè)備等的研發(fā)、技術(shù)推廣和生產(chǎn)銷售。
公司以中科院納米所的研究平臺和技術(shù)團(tuán)隊(duì)為技術(shù)依托,整合華林偉業(yè)在相關(guān)行業(yè)多年的設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn),研發(fā)生產(chǎn)中半導(dǎo)體設(shè)備。公司以品質(zhì)為根本,以創(chuàng)新為突破點(diǎn),走設(shè)備研發(fā)和工藝研究相結(jié)合的道路,使設(shè)備能夠滿足和較早的工藝。公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)由張寶*士、王敏瑞博士、張永紅博士等十多名在半導(dǎo)體、太陽能光伏及液晶行業(yè)有多年設(shè)備和工藝經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士組成。
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