光電位置傳感器 型號:DR777-52*52庫號：M64398 光電位置傳感器（PSD）PSD 光電位置探測器PSD（Position Sensitive Detectors）是一種能測量光點在探測器表面上連續(xù)位置的光學探測器。PSD 由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻組成。與 CCD 探測器相比，PSD 有諸多優(yōu)點，如位置分辨率高，響應速度快和處理電路簡單等。另外，位置信號與落在探測器上的光斑形狀無關(guān)。我所可提供各種和規(guī)格尺寸的 PSD 探測器。特點●位置分辨率高●光譜響應寬●響應速度快●位置和光強同時測量●不受光斑的約束●性高應用范圍●光學位置和角度的探測●光學遙測系統(tǒng)●位移和振動測量●激光對中和準直●距離測試●人類運動姿態(tài)分析工作原理與PSD 特點1結(jié)構(gòu)如圖 1 截面圖所示，PSD 由在平面硅襯底上的三層組成：P 型層在表面，N 型層在另一面，I 層在它們中間。落在 PSD 上的入射光轉(zhuǎn)換成光電子后由 P 型層上兩端電極探測并形成光電流。圖 12原理當一束光落在 PSD 上，相應于光能量的電荷在入射點產(chǎn)生，電荷通過 P 型電阻層被電極收集。P 型層是均勻一體的電阻層，被電極收集到的光電流與入射點和電極間距成反比。由此可得出如下公式：I1 和 I2 是電極的光電流，L 和 I0 分別代表電極間距和總光電流。圖 2當 PSD 幾何設(shè)定為坐標原點：I ? 1 (1 ? 2 x )I----------（1）I ? 1 (1 ? 2 x)I （2）1 2 L A 0 2 2 L A 0I 2 ? I1 ? 2x A----------（3）I1 ? L ? 2x A----------（4）I1 ? I 2 L I 2 L ? 2x A當 PSD 一端設(shè)定為坐標原點：I ? L ? x B I1 L 0----------（5）I ? x B I2 L 0-----------（6）I 2 ? I1 ? 2x B ? L----------（7）I1 ? L ? 2x B----------（8）I1 ? I 2 L I 2 x B由公式（3），（4），（7），（8）顯示，不同的比率可得出相應的與光能量無關(guān)的入射光點的位置。3一維 PSDPSD 分兩種類型：一維 PSD（稱 1D-PSD）和兩維 PSD（稱 2D-PSD）探測器，圖 3a 是1D-PSD 的結(jié)構(gòu)圖。a b圖 3圖 3b 是 1D-PSD 的等效電路圖。由于有寄生 Cj 和 Rp，它們的時間常數(shù)決定了 PSD 的響應速度。通過集成電路處理，1D-PSD 可用于探測 100ps 脈沖寬度的激光光斑。42D-PSD2D-PSD 是一種改進型四側(cè)面結(jié)構(gòu)，包括改進敏感面和電極。另外，器件暗電流小，響應速度高和設(shè)置偏壓容易，邊緣畸變小。圖 55轉(zhuǎn)換公式PSD 光敏面上光點位置可由如下公式得出：這里 X1 和 X2 代表每一電極輸出信號（光電流），x 是光點位置坐標。X 2 ? X 1 ? 2xX 1 ? X 2 L圖 6( X 2 ? Y1 ) ? ( X 1 ? Y2 ) ? 2xX 1 ? X 2 ? Y1 ? Y2 L( X 2 ? Y2 ) ? ( X 1 ? Y1 ) ? 2 y圖 76電路圖 8 是 1D-PSD 直流處理電路原理圖。Vr 是偏置電壓。X 1 ? X 2 ? Y1 ? Y2 L7PSD 處理電路我所可提供 1D-PSD 和 2D-PSD 信號處理電路。1D-PSD，2D-PSD 分別是 1D-PSD 和2D-PSD 非調(diào)制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源，位置信號就能得到。本所研制開發(fā)了調(diào)制信號處理電路，數(shù)據(jù)可以液晶顯示，可以通過 RS232 口與計算機通訊。本所還具有 PSD 應用整機開發(fā)的實力。PSD 探測器●W101（1D-PSD）光敏面 1×3mm分辨率 0.1μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 0.5μs工作溫度 -10～60℃●W103（1D-PSD）光敏面 1×15mm分辨率 0.1μm●W104（1D-PSD）光敏面 2.0×20mm分辨率 1μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 1μs工作溫度 -10～60℃●W105（1D-PSD）光敏面 2.5×34mm分辨率 1μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 5μs工作溫度 -10～60℃●W201（2D-PSD）光敏面 10×10mm分辨率 1μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 0.8μs工作溫度 -10～60℃●W202（2D-PSD）光敏面 15×15mm分辨率 1μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 0.8μs工作溫度 -10～60℃●W203（2D-PSD）光敏面 21×21mm分辨率 2μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 1μs工作溫度 -10～60℃●W204（2D-PSD）光敏面 27×27mm分辨率 2μm●W205（2D-PSD）光敏面 43×43mm分辨率 5μm光譜響應范圍 380～1100nm響應時間 5μs工作溫度 -10～60℃輔助產(chǎn)品●PSD 標定系統(tǒng)W203（2D-PSD）技術(shù)參數(shù)光電參數(shù) 符號 測試條件 典型值 單位光敏面面積 φ 25×25 mm光譜相應 λ 320～1100 nm光譜峰值相應 λ Vr=5V, 920 nm靈敏度 Re Vr=5V,λ=920nm 0.5 A/W位置分辨率 Pr 1.5 μm位置檢測 E A 區(qū)：±80, B 區(qū)：±150 μm暗電流 Id Vr=5V, 100 nA工作電壓 VR 5 V工作溫度 T -10～50 ℃