智能制造網(wǎng)APP
智能制造網(wǎng)手機(jī)站
智能制造網(wǎng)小程序
智能制造網(wǎng)官微
智能制造網(wǎng)服務(wù)號(hào)
FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)（RS232）或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)（RS232 / I2C），也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點(diǎn)穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
FS5001 | ||
量程范圍 | 0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100：1 | |
精度 | ±（1.5±0.2FS） | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
零點(diǎn)輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應(yīng)時(shí)間 | 100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置） | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
zui大流量壓損 | 900 | Pa |
zui大流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲(chǔ)溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） | |
機(jī)械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊） | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa | |
重量 | 17.5 | g |
