熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱傳導原理測流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進行準確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準確等優(yōu)點。
傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。