氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理，以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想的方法。因氦是隋性氣體，對大氣無污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易滲透過任何可能存在的漏率，檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣；加之氦在大氣中含量少（僅萬分之五），離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大，不易受干擾，不會(huì)錯(cuò)判。與當(dāng)今諸多檢漏方法（如氣泡法、鹵素檢漏法等）相比，它是*。
    ZL.90-ZQLS－26D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀是新型的全功能氦質(zhì)譜檢漏儀，機(jī)內(nèi)采用渦輪分子泵作主排氣機(jī)，啟動(dòng)快（僅五分鐘即可使用）。儀器可以在測試口壓強(qiáng)近似大氣時(shí)，采用道擴(kuò)散方式進(jìn)行檢漏，也可以在測試口壓強(qiáng)為50Pa以下時(shí)采用常規(guī)方式進(jìn)行檢漏；用常規(guī)方式檢漏時(shí)，可以在分流狀態(tài)下檢較大的漏隙（測試口壓強(qiáng)在 50～10^-1Pa），也可以在不分流狀態(tài)下檢微小的漏隙（測試口壓強(qiáng)在10^-1Pa以下）。儀器測量范圍可達(dá)2×10^-1～2×10^-12Pa·m/S。儀器采用光柱和數(shù)碼管直接顯示漏率，且可按需要選用適當(dāng)?shù)穆┞蕟挝唬▋x器已給出四種常用單位Pa·m³/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），讀數(shù)方便儀器有音響報(bào)警裝置，報(bào)警點(diǎn)可以任意設(shè)定，使用方便。本儀器適用于工廠車間和實(shí)驗(yàn)室對各種零部件作噴氦法（真空檢漏法）、吸氦法（壓力檢漏法）、背壓法檢漏。其中ZLS-26D型*已通過二炮驗(yàn)證，開始批量為其配套。
      
主要技術(shù)參數(shù)：
儀器zui小可檢漏率：優(yōu)于5～10^-12Pa～m³/s
儀器zui大可檢漏率：2×10^-1Pa～m³/s
儀器漏率顯示范圍：2×10^-1～2×10^-13Pa～m³/s
儀器的反應(yīng)時(shí)間：  不大3s
儀器質(zhì)譜室允許工作的zui高壓強(qiáng)：1×10^-2Pa
儀器測試口允許工作的zui高壓強(qiáng)：1000Pa
被檢件由粗抽至檢清的自動(dòng)切換點(diǎn)
           （檢漏點(diǎn)）可調(diào)范國：50～10^-1Pa
音響器報(bào)警點(diǎn)設(shè)定范圍：任意
背壓法檢漏時(shí)間可調(diào)范圍：5～30s
儀器的啟動(dòng)時(shí)間：  不大于5min
儀器的輪廓尺寸：  640*550*980 mm³
儀器的重量：      約75Kg

對比
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  型   號            zui小可檢漏率Pa.m³/s
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  ZLS-23B                 2·10^-11
  ZLS-24B                 2·10^-11
  ZLS-24C                 2·10^-11 
 ZLS-26D/T                5·10^-12
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  型   號              反應(yīng)（清除）時(shí)間 s
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  ZLS-23B                    ＜3
  ZLS-24B                    ＜3
  ZLS-24C                    ＜3
 ZLS-26D/T                   ＜3
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  型   號                  讀數(shù)方式
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  ZLS-23B                 表頭（mV）
  ZLS-24B         表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
  ZLS-24C         表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
 ZLS-26D/T                 數(shù)字直讀
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  型   號                  特    點(diǎn)
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  ZLS-23B             單主機(jī)，帶標(biāo)準(zhǔn)漏空
  ZLS-24B      帶一套粗抽系統(tǒng)（泵2XZ-4B），使用
               于各種檢漏方法，帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔
  ZLS-24C      帶二套粗抽系統(tǒng)，適用于批量檢漏，
               帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔
 ZLS-26D/T     渦輪分子泵（德國萊寶50型）前級泵
               （日本GLD030）粗抽泵（英國
               EDWARDERV12），帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔