采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器
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※1 | ※2 |
※1 | EMC指令 |
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※2 | Recognition認證 |
特點
安全性的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,十分危險。 | |
亦可檢測玻璃晶圓
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。 | |
可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應(yīng)
實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。 | |
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。 | |
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。 | |
種類
型號 | 形狀 | 中心檢測距離 | 檢測物體 | 輸出 |
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M-DW1 | 45mm | 3以上的半導(dǎo)體晶圓 | NPN輸出/PNP輸出通過切換開關(guān)選擇 |
規(guī)格
種類 | LED式反射型 | |
型號 | M-DW1 | |
中心測量距離 | 45mm | |
檢測物體 | 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) | |
可對應(yīng)檢測面 | 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3) | |
檢測角度 | 12.5±5°(注4) | |
晶圓間距 | 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5) | |
適用晶圓盒 | SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 | |
電源電壓 | 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下 | |
消耗電流 | 65mA以下 | |
輸出 | NPN輸出/PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇 NPN開路集電極晶體管 ?流入電流:100mA ?外加電壓:30V DC以下(輸出和0V之間) ?剩余電壓:1V以下(流入電流為100mA時) 0.4V以下(流入電流為16mA時) PNP開路集電極晶體管 ?源電流:100mA ?外加電壓:30V DC以下(輸出和+V之間) ?剩余電壓:1V以下(源電流為100mA時) 0.4V以下(源電流為16mA時) | |
輸出動作 | 可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON | |
短路保護 | 裝備(自動復(fù)位) | |
反應(yīng)時間 | 500μs以下 | |
工作狀態(tài)指示燈 | 橙色LED(輸出ON時亮起) | |
穩(wěn)定指示燈 | 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈) | |
定時器功能 | 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式 | |
投光停止輸入 | 信號條件 ?投光停止:斷開或4?8V ?投光:0?3V或9V?+V(26.4V MAX.) | |
靈敏度切換輸入 | 信號條件 ?輸入OFF:斷開或4?8V ?輸入ON :0?3V或9V?+V(26.4V MAX.) | |
靈敏度設(shè)定 | 背面教導(dǎo):按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行 檢測靈敏度切換:本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式 | |
環(huán) 境 性 能 | 保護構(gòu)造 | IP20(IEC) |
使用環(huán)境溫度 | 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲時:?10?+70℃ | |
使用環(huán)境濕度 | 35?85%RH、存儲時: 35?85%RH | |
使用環(huán)境照明度 | 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下 | |
耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | |
耐振動 | 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時 | |
耐沖擊 | 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 | |
投光元件 | LED(調(diào)制式) | |
材質(zhì) | 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯 | |
電纜 | 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm | |
電纜延長 | 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m | |
重量 | 本體重量:約75g |
(注1):無的測量條件為使用環(huán)境溫度=+20℃。
(注2):檢測8英寸以下的晶圓時,可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。
(注3):對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓,如果其端面呈刀刃狀,可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4):晶圓旋轉(zhuǎn)時,定位邊的跳動角度約為±20°。
(注5):斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時,對于避開定位邊的檢測位置,晶圓間距變得更窄,檢測信號無法分解,變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號。
尺寸圖
- 單位mm
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