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      晶圓定位傳感器 M-DW1

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱北京科恩眾和工業(yè)控制技術(shù)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號M-DW1
      • 所  在  地北京市
      • 廠商性質(zhì)代理商
      • 更新時間2024/12/15 9:40:05
      • 訪問次數(shù)16
      產(chǎn)品標簽:

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      北京科恩眾和工業(yè)控制技術(shù)有限公司成立于1999年9月,是一家集工業(yè)自動化控制產(chǎn)品銷售、系統(tǒng)集成、產(chǎn)品開發(fā)、工程項目、技術(shù)咨詢、產(chǎn)品維修等業(yè)務(wù)于一體,為廣大用戶提供*技術(shù)支持和服務(wù)的專業(yè)公司。

      在過去的幾年里,北京科恩眾和工業(yè)控制技術(shù)有限公司與多家**公司合作,向廣大中國用戶提供當今世界*的工業(yè)自動化控制產(chǎn)品和技術(shù)。公司代理、銷售的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于印刷、包裝、玻璃、紡織、機床、橡塑、煙草、冶金、石化等產(chǎn)業(yè)機械以及航空航天、*空調(diào)、節(jié)能改造等領(lǐng)域。公司承攬了很多的工程項目、產(chǎn)品開發(fā)等工作,同時也得到了廣大用戶的信任和支持,使得公司在廣泛的合作中保持良性發(fā)展。

      公司擁有一批專業(yè)技術(shù)人員,具有完善的系統(tǒng)集成、產(chǎn)品開發(fā)、工程項目實施等技術(shù)能力。可根據(jù)用戶的要求為用戶提供良好的系統(tǒng)集成方案、承接新產(chǎn)品開發(fā)以及運動控制系統(tǒng)、機器視覺系統(tǒng)、工業(yè)現(xiàn)場總線、網(wǎng)絡(luò)通訊等自動化系統(tǒng)工程項目?,F(xiàn)如今,公司正逐步向一個實力強大的高科技系統(tǒng)工程公司邁進。

      公司倡導(dǎo)每一位員工遵循“送人玫瑰,手留余香”的人生理念,尊重每一個合作方的意愿,在雙方或多方合作中努力實現(xiàn)“公贏”、“共發(fā)展”。

      公司愿與廣大用戶真誠合作,同步提升,共創(chuàng)美好未來!

       

      PLC;觸摸屏;變頻器;減速機;傳感器;編碼器;松下;三菱;圖像檢測;施耐德;威綸;貝加萊;新寶
      采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器
      晶圓定位傳感器 M-DW1 產(chǎn)品信息

      采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器

      晶圓定位傳感器  M-DW1
      CE※1 Recognition※2
      ※1 EMC指令
      ※2 Recognition認證

      特點

      安全性的LED式

      以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,十分危險。
      M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

      安全性的LED式

      亦可檢測玻璃晶圓

      M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

      亦可檢測玻璃晶圓

      可檢測涂氮晶圓

      氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
      而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

      0.5ms的高速反應(yīng)

      實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

      基于2段受光元件的高精度位置檢測

      利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

      基于2段受光元件的高精度位置檢測

      可從四個方向引出電纜

      傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

      可從四個方向引出電纜

      內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

      尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

      內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

      種類

      型號 形狀 中心檢測距離 檢測物體 輸出
      M-DW1 45mm 3以上的半導(dǎo)體晶圓 NPN輸出/PNP輸出通過切換開關(guān)選擇

      規(guī)格

      種類 LED式反射型
      型號 M-DW1
      中心測量距離 45mm
      檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
      可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
      檢測角度 12.5±5°(注4)
      晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
      適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
      電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
      消耗電流 65mA以下
      輸出 NPN輸出/PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇

      NPN開路集電極晶體管
      ?流入電流:100mA 
      ?外加電壓:30V DC以下(輸出和0V之間)
      ?剩余電壓:1V以下(流入電流為100mA時)
              0.4V以下(流入電流為16mA時)

      PNP開路集電極晶體管
      ?源電流:100mA
      ?外加電壓:30V DC以下(輸出和+V之間)
      ?剩余電壓:1V以下(源電流為100mA時)
              0.4V以下(源電流為16mA時)
      輸出動作 可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON
      短路保護 裝備(自動復(fù)位)
      反應(yīng)時間 500μs以下
      工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
      穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)
      定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
      投光停止輸入 信號條件
      ?投光停止:斷開或4?8V
      ?投光:0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
      靈敏度切換輸入 信號條件
      ?輸入OFF:斷開或4?8V
      ?輸入ON :0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
      靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo):按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行
      檢測靈敏度切換:本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式
      環(huán)


      保護構(gòu)造 IP20(IEC)
      使用環(huán)境溫度 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲時:?10?+70℃
      使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲時: 35?85%RH
      使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下
      耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
      絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
      耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
      耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
      投光元件 LED(調(diào)制式)
      材質(zhì) 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯
      電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm
      電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
      重量 本體重量:約75g

      (注1):無的測量條件為使用環(huán)境溫度=+20℃。
      (注2):檢測8英寸以下的晶圓時,可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。
      (注3):對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓,如果其端面呈刀刃狀,可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
      (注4):晶圓旋轉(zhuǎn)時,定位邊的跳動角度約為±20°。
      (注5):斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時,對于避開定位邊的檢測位置,晶圓間距變得更窄,檢測信號無法分解,變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號。

      尺寸圖

      • 單位mm
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