特點(diǎn)
1) 高精度質(zhì)量流量控制器,優(yōu)于1 %的精度。
2) 高效的混氣裝置和的防吸附管路設(shè)計(jì),適用于易吸附、易反應(yīng)化合物的稀釋配氣。
3) 寬動態(tài)范圍(常規(guī)稀釋倍數(shù)1:1~1:10000);可擴(kuò)展。
4) 超快速氣體流量控制(穩(wěn)定時間<100 ms)。
5) 預(yù)熱時間≤5min。
6) 配置靈活。 標(biāo)氣單路最多可切換 4種氣體。
7) 具有存儲功能,可存儲30個校準(zhǔn)點(diǎn)。具備序列校準(zhǔn)功能,可存儲30種校準(zhǔn)序列。
8) 具備定時功能,儀器自動啟動序列校準(zhǔn)。
9) 具備Ethernet、RS485、RS232接口,可遠(yuǎn)程控制儀器工作。
10) 儀器具備自動清洗功能,能夠自動進(jìn)行管路清洗。
技術(shù)指標(biāo)
基本參數(shù) | ||||
型號 | B600 | B600S | ||
稀釋系統(tǒng) | 稀釋原理 | 質(zhì)量流量控制器(MFC)/ 動態(tài)稀釋法 | ||
流量精度 | ±0.8%設(shè)定點(diǎn)(流量>30% FS) ±0.5%FS(流量≤30% FS) | ± 0.6% RD或± 0.1% FS (取值) | ||
流量重復(fù)性 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ||
稀釋比 | 1:1~1:1000(可定制) | 1:1~1:10000(可定制) | ||
響應(yīng)時間 | ≤600ms | ≤100ms | ||
預(yù)熱時間 | ≤5min | ≤1min | ||
稀釋氣流量范圍 | 0~10SLPM | |||
可選范圍 | 0~5 SLPM / 0~20 SLPM(其他量程) | |||
標(biāo)準(zhǔn)氣流量范圍 | 0~100 SCCM | |||
可選范圍 | 0~50 SCCM / 0~200 SCCM / 0~500 SCCM(其他量程) | |||
管路材質(zhì) | 316L不銹鋼/PFA/PTFE | |||
標(biāo)氣輸入端口 | 4 | |||
稀釋氣輸入端口 | 1 | |||
校準(zhǔn)氣輸出端口 | 1 | |||
廢氣輸出端口 | 1 | |||
電氣指標(biāo) | 供電要求 | 200~240V,50/60HZ | ||
工作功率 | ≤50W | |||
通信指標(biāo) | 通信接口 | 1×Ethernet:10/100Base-T 1×RS485 1×USB 2×RS232 | ||
通信協(xié)議 | Modbus-RTU(RS232和RS485) | |||
物理指標(biāo) | 工作溫度范圍 | 0~50℃ | -10~60℃ | |
工作濕度范圍 | 20~90%RH(無冷凝) | |||
存儲溫度 | -20~85℃ | |||
尺寸 | 560×482×133mm(長×寬×高)(含把手) | |||
重量 | 15kg |
注1:標(biāo)氣流量、稀釋氣流量、校準(zhǔn)氣體輸出流量范圍、稀釋比、機(jī)箱尺寸可根據(jù)用戶要求定制。
注2:產(chǎn)品具體的稀釋比范圍與輸出流量范圍有關(guān),詳細(xì)請咨詢廠家。
注3:提供的數(shù)據(jù)僅供參考,如有變更,恕不另外通知。