一、產(chǎn)品介紹
120K-W 是一種水冷式熱功率/能量激光測量傳感器,具有 200 毫米孔徑,可提供非常高的功率。
它的尺寸為 520 x 545 x 750 毫米。120k-W 激光功率計可測量 10,000W 至 120,000W 的功率,專為直徑擴大至 100mm 的光束撞擊其偏轉(zhuǎn)錐而設(shè)計,并在 1.07µm 處進行校準。應(yīng)用包括激光測量和半導(dǎo)體光刻工藝的激光測量。傳感器隨附一根 10 米長的電纜,用于連接到儀表或 PC 接口
二、產(chǎn)品參數(shù)
Model | 120K-W |
Use | 功率120kW |
測量類型 | 帶偏轉(zhuǎn)錐的水冷梁吸收室。獨立的功率測量單元監(jiān)控輸入和輸出冷卻水流量和溫度 |
光譜范圍µm | 0.9 –1.1 (a) |
孔徑mm | ?200 |
校準讀數(shù)的功率范圍 | 10kW - 120kW |
電源噪音水平 | ±20W水溫穩(wěn)定 |
背散射功率 | 小于1% |
平均功率密度kW/cm2 | 設(shè)計用于近高斯光束。1/e2光束直徑應(yīng)該有0到6度的發(fā)散,在反射錐的直徑應(yīng)該是?100mm(只要光束直徑要求滿足,光束也可以是準直的,不發(fā)散)。 |
梁定心要求 橫梁居中不當(dāng) 對傳感器造成損壞 | 梁在偏轉(zhuǎn)錐上居中±5mm,平行±2度 |
響應(yīng)時間0-95%類型 | 流速為60升/分鐘時為40秒,流速為20升/分鐘時為60秒 |
校準不確定度±% | 1.9 |
電源精度±% | 5 (a) |
線性與功率±% | 2 |
冷卻需求 | 水流速率,60升/分鐘在功率。入口溫度15-20℃。 滿功率時進水溫度變化率<0.3degC/min,低功率時相應(yīng)減小(b, c) |
水連接 | 1”外徑13/16”內(nèi)徑柔性尼龍管每個方向可達4米 |
輸出 | 1、電纜端接在DB9插頭,RS232 ASCII輸出讀取功率,流量和PC上的溫度(使用WaterFlowMeter PC App)。電纜長度為10米(建議用于訪問完整數(shù)據(jù))。 2、電纜端接DB15 Ophir智能插頭讀取電源。 |
可選散射屏蔽附件(c) | NA |
注釋 | |
(a) | 校準為1.07µm |
(b) | 最小流量不應(yīng)低于20升/分鐘。建議用戶在回水線上安裝安全聯(lián)鎖流量開關(guān)(在光束傾倒后),以便在流量下降時立即關(guān)閉激光 |
(c) | 如需長期使用未經(jīng)處理的水(自來水,非DI水)的溶液,請聯(lián)系我們 |