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鄭科探小型蒸鍍儀
-熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；
- 保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關擋板，達到及時遮擋樣品效果；
以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖：
以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1200W |
輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
技術支持&服務：
1. 技術支持：在合同簽訂之前，我們的專業(yè)工程師會在充分了解客戶需求的前提下，為客戶做出*的選型和方案設計，使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術指標、性能用途、使用場合、安全注意事項等，以幫助客戶做出正確的選擇。
2. 安裝與培訓：在產(chǎn)品使用前，我們會派專業(yè)工程師為您提供現(xiàn)場技術支持、培訓及演示服務。
3. 產(chǎn)品質(zhì)保：我們對產(chǎn)品提供12個月的質(zhì)保期，在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設備或配件損壞由公司負責賠償或免費維修。（耗材和易損件除外）
4. 終身維護：我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務，對于超過質(zhì)保期限的維修、維護僅收取材料費，免除一切人工費用。
