檢測部采用了本公司獨立開發(fā)的稱為「μF傳感器」的熱式流量傳感器，是搭載有高級執(zhí)行器控制技術(shù)的氣體用質(zhì)量流量控制器。

　　利用μF傳感器的特長，實現(xiàn)了寬廣流量控制范圍的快速響應(yīng)。

　　應(yīng)用于工廠生產(chǎn)工序的玻璃、釬焊加工的火焰控制等以前的質(zhì)量流量控制器控制困難的低壓供給燃?xì)獾牧髁靠刂啤?/p>

　　豐富的產(chǎn)品種類，擴(kuò)大了可使用的應(yīng)用范圍。

　　■ 質(zhì)量流量檢測

　　與空氣、燃?xì)獾氖褂脺囟?、壓力無關(guān)，可測量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。

　　(* 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量是指在1個大氣壓、0°C(或20°C)時的體積流量。)

　　■ 寬廣的檢測范圍

　　相對于測量流量的低流量區(qū)域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現(xiàn)寬廣范圍的測量、控制。實現(xiàn)了質(zhì)量流量計CMS的可調(diào)比100：1、大流量質(zhì)量流量計CML的可調(diào)比160：1(測量范圍為1,280：1)的高可調(diào)比!

　　于空氣及燃?xì)獾氖褂昧康墓芾?、及?jié)能的漏氣管理。

　　■ 快速響應(yīng)

　　細(xì)微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進(jìn)行檢測，實現(xiàn)了快速響應(yīng)。

　　■ 低圧損構(gòu)造

　　μF傳感器設(shè)置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點。于低圧氣體流量的檢測、控制。

　　■ 高精度

　　μF傳感器隨時間的特性變化非常小，能長期保持高精度。

　　■ 各種功能

　　通過控制機(jī)器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計沒有的各種功能。

　　瞬時/累積流量顯示、燃?xì)夥N類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等　(* 因產(chǎn)品而異)

　　■ 種類豐富的產(chǎn)品

　　根據(jù)使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。