概述
多晶硅尾氣主要成分的體積分?jǐn)?shù)分別為,HCl 30%;H2 64.2%;SIHCl3 5.4%;其他0.2%。雜質(zhì).為及氯硅烷、氯硅烷十分活潑,遇水即生成及氧化硅,因此在分析檢測(cè)時(shí)氣體分析系統(tǒng)對(duì)水有嚴(yán)格要求。系統(tǒng)對(duì)設(shè)備材質(zhì)、密封性能等也有嚴(yán)格要求。瑞恒公司采用變壓吸附工藝,一次性去除所有雜質(zhì),確保分析效果準(zhǔn)確性。預(yù)處理單元中利用吸附劑吸附雜質(zhì)組分的能力遠(yuǎn)強(qiáng)于吸附氫氣能力,可以將混合氣體中的氫氣提純。本系統(tǒng)根據(jù)我國(guó)多晶硅生產(chǎn)線中高塵、高腐蝕的惡劣工況條件,設(shè)計(jì)的NKYF9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統(tǒng),已達(dá)到水平,特別適合我國(guó)國(guó)情。
我公司開(kāi)發(fā)的實(shí)用新型干法耐腐蝕取樣探頭,能成功地承擔(dān)這一艱巨的取樣任務(wù)。成套分析裝置的關(guān)鍵部件(國(guó)內(nèi)同類(lèi)部件其可靠性、穩(wěn)定性及使用壽命尚有差距)全部采用(例分析儀傳感器、真空取樣泵、PLC、閥件等),其它能夠保證使用要求的由國(guó)內(nèi)配套生產(chǎn),此優(yōu)化配置方案確保了裝置的性能價(jià)格比,讓貴方以最少的投入獲得高質(zhì)量、高性能的在線分析控制成套系 統(tǒng)。ST9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統(tǒng)多晶硅尾氣過(guò)程氣體成份分析裝置分單點(diǎn)連續(xù)分析和多點(diǎn)巡回檢測(cè)分析,根據(jù)用戶(hù)要求進(jìn)行設(shè)計(jì),根據(jù)用戶(hù)的實(shí)際情況,合理設(shè)置分析周期間隔時(shí)間,既經(jīng)濟(jì)又能滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝所需的安全參數(shù)。
系統(tǒng)特點(diǎn)
◆免維護(hù)型耐腐取樣過(guò)濾探頭可在高酸、高粉塵條件下連續(xù)工作,不堵塞。
◆常壓耐算取樣管可在高溫條件下,承受過(guò)壓、耐酸等惡劣環(huán)境連續(xù)工作不損壞。
◆系統(tǒng)響應(yīng)極快,分析準(zhǔn)確,滯后小。
◆關(guān)鍵件全部采用優(yōu)選進(jìn)口件,系統(tǒng)可靠性高
◆采用高溫取樣技術(shù)
◆專(zhuān)業(yè)防堵技術(shù)
取樣監(jiān)測(cè)點(diǎn)