晶圓半導(dǎo)體UV解膠機往復(fù)式UV脫膠掃描式均勻UV除膠揭膜SK-103-400JM
技術(shù)參數(shù)
1、UV燈功率:3kw*1支(專用UV燈)
2、UV燈總長:620mm、弧長:500mm
3、UV波段主波峰:365nm
4、人機界面觸摸屏控制
5、強弱光強調(diào)節(jié):20%~99%(智能電子電源)
6、自動遮光燈箱安進口反射器和光學(xué)濾光鏡片
7、燈箱手動、自動遮光
8、采用下排風(fēng)系統(tǒng)
9、輸送材料:往返式傳動模組
10、固定工裝臺面尺寸:420*420mm
11、輸送速度:0~3m/min
12、電源:380VAC 50HZ
主要用途:
1.這種UV固化系統(tǒng)便于UV曝光后剝離UV膠帶,膠帶是用于研削中的表面保護和晶片處理工序中膠帶的切割的UV膠帶,這種高壓汞燈式UV固化系統(tǒng)使用傳統(tǒng)的UV燈,可以獲得穩(wěn)定的固化結(jié)果。