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日立超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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公司名稱富泰微科學儀器（上海）有限公司
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廠商性質其他
更新時間2023/6/7 8:26:42
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公司介紹主營產品

富泰微科學儀器（上海）有限公司總部坐落于上海，在江蘇設立辦事處。富泰微專注納米級微觀光學儀器研發(fā)，銷售以及售后服務。主要產品包括：SEM掃描電子顯微鏡、AFM原子力顯微鏡、TEM透射電子顯微鏡、FIB聚焦離子束顯微鏡、共聚焦顯微鏡、浩視3D顯微鏡、ZYGO白光干涉儀、ZYGO激光干涉儀、臺階膜厚儀等納米級光學測量儀器。公司擁有專業(yè)化的管理團隊和完善的管理體系，內部建立了完善的服務平臺。從產品售前到售后服務都能進行全程的跟蹤與管控。公司擁有多年行業(yè)管理和銷售經驗，在細分行業(yè)中，得到行業(yè)中客戶及同行業(yè)的高度認可。我司產品被廣泛應用于化工、電子、半導體、材料、生物技術、食品以及政府單位和高?？蒲性核阮I域。

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離子研磨儀

產品簡介在線詢價

產品介紹現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

日立超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列產品信息

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列_看圖王.web.jpg

產品介紹：

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

*1 Regulus8240/8230/8220

產品特點：

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

*2 Regulus8240/8230/8220

產品規(guī)格：

項目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.7 nm （加速電壓15 kV）	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
			0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺	樣品臺控制		3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）	5軸馬達驅動
	移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現性		-	-	-	±0.5 µm以下含
						±0.5 µm