龍門式大量程 支持定制式開發(fā) 凝聚業(yè)界精華
VML龍門型,是一款高性能,其行程達2520×2020mm,適用于PCB、LCD等行業(yè)的大行程測量。它采用移動橋式結(jié)構(gòu),匯集了行業(yè)內(nèi)的設(shè)計理念,以最完善的設(shè)計和的生產(chǎn)流程控制,確保機臺的精度和穩(wěn)定性。
儀器特點
◆ 移動橋式結(jié)構(gòu),大行程全自動測量,四軸CNC控制;
◆ 花崗石機臺穩(wěn)定可靠,運動平穩(wěn);
◆ 全鼠標、手柄操作,簡單易用;
◆ Renishaw開放式光柵尺,精度高、穩(wěn)定性好;
◆ Navitar自動變倍光學(xué)鏡頭,可實現(xiàn)自動變倍測量;
◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源,LED輪廓光源,同軸光源;
◆ 自動對焦測高,可加裝接觸式測頭;
◆ ;
◆ 提供多種規(guī)格標準配置,并可根據(jù)要求進行個性化定制。
技術(shù)參數(shù)
型號 | VML662三次元 | VML962三次元 | VML1292三次元 | VML15122三次元 | |
量程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
外部尺寸(mm) | 1320×1020×1680 | 1620×1020×1680 | 1920×1320×1680 | 2220×1620×1680 | |
重量(kg) | 700 | 900 | 1200 | 1500 | |
承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
精度 | XY軸 | E2=(3.0+L/200)µm | |||
Z軸 | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
重復(fù)精度 | XY軸 | <3µm | |||
Z軸 | <5µm | ||||
速度 | XY軸 | 300mm/S | |||
Z軸 | 100mm/S | ||||
光柵尺分辨率 | 1.0µm, 0.5µm, 0.1µm(可選) | ||||
CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級亮度可調(diào) | |||
表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調(diào) | ||||
同軸光 | LED冷光源,256級亮度可調(diào) | ||||
光學(xué)系統(tǒng) | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
軟件 | Vispec測量軟件 | ||||
運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
振動<0.002g,低于15Hz | |||||
電源 | 90~264VAC,47-63Hz,10Amp |