德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。該款測振儀可實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品簡介：

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供準確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點：

集多功能于一體的光學測量工作站

實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測量速度快，振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動化測量，易于集成至商用探針臺上

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應用：

微型結(jié)構(gòu)的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動：

如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動：

如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

微型結(jié)構(gòu)的表面形貌：

如：梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀技術(shù)參數(shù)：

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計算而來。

2、 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請見后附表格。

3、隔振臺上每個頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。 

4、“光滑表面”：自相關(guān)相位評估?！按植诒砻妗弊韵嚓P(guān)譜包絡線評估

5 、在阻尼振動溫控條件下，對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結(jié)果的標準偏差

7、 平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次階躍高度測量的均方根偏差，校準的階躍高度標稱為50μm。

9、 在重復條件下，將30次連續(xù)測量值的標準不確定度與標稱值偏差相加。組合標準不確定度是標稱不確定度和測量結(jié)果的標準偏差的二次均方根值。