激光橢圓偏振測厚儀 型號:TP-Y-I 金洋萬達(dá)
儀器介紹:
橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調(diào)節(jié),自動測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及計(jì)算等功能,方便用戶使用。
技術(shù)參數(shù):
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 |
測量厚度示值(nm) | ≤1 |
偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
測量膜厚精度(nm) | ±1 |
折射率重復(fù)性精度 | ±0.01 |
入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°~90°精度為0.05° |
入射光波長(nm) | 632.8 |
光學(xué)中心高(mm) | 80 |
允許樣品尺寸(mm) | φ10-φ140,厚度≤15 |
外形尺寸(mm) | 590*390*290 |
主機(jī)重量(kg) | 25 |
配置清單:
橢圓偏振測厚儀主機(jī) 1臺
主機(jī)電控箱 1套
二氧化硅膜樣片 1片
橢圓偏振測厚儀軟件 1套
選配:計(jì)算機(jī)及打印機(jī) 1套
公司承諾:質(zhì)量服務(wù)承諾:
1.質(zhì)保期一年,終生免費(fèi)維護(hù)。
2.在質(zhì)保期內(nèi),除人為因素外,任何因儀器設(shè)計(jì)、材料或工藝不當(dāng)引起的缺陷、故障我們免費(fèi)修理或更換。
3.接到用戶通知所提供的儀器出現(xiàn)故障后,十分鐘內(nèi)回應(yīng).
4.保證及時向用戶以優(yōu)惠的價格提供所需的備品備件和易