產(chǎn)品介紹
四軸精密度線軌運(yùn)動臺,滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等*制造行業(yè)。
產(chǎn)品特性
X、Y、Z、工作臺,直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°角度旋轉(zhuǎn),Z軸布置于平臺大理石橫梁,直線電機(jī)驅(qū)動垂向運(yùn)動;配套平衡氣缸支撐,防止斷電掉落:
亞微米級重復(fù)定位精度;o
速度1000mm/s,加速度1g;
單軸直線度可達(dá)士1.5um,運(yùn)動平面度可達(dá)2.um;
X、Y兩軸正交性可達(dá)2.0um;
直線電機(jī)驅(qū)動,光柵尺編碼反饋
高精度直線導(dǎo)軌:高剛性基臺配合進(jìn)口高剛性直線導(dǎo)軌,可保證產(chǎn)品長期穩(wěn)定的精度,同時專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊和檢測設(shè)備可將直線導(dǎo)軌的性能發(fā)揮到極點(diǎn)。
本機(jī)構(gòu)具備較高的定位精度,臺體的物理形位公差做到了理想化范圍,確保運(yùn)動時的精確性。
模塊化線纜管理:模塊化的線纜管理大大提高系統(tǒng)的維護(hù)性和可靠性,方便用戶管理線纜。