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      英國Emitech高真空離子濺射儀

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱上海百賀儀器科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號K575X/K575
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2022/10/13 12:54:44
      • 訪問次數(shù)178
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      上海百賀儀器科技有限公司成立于上海。在中國銷售網(wǎng)絡,以華東地區(qū)為中心,面向全國各地。是集售前支持和售后服務為一體的技術(shù)型企業(yè)。公司專業(yè)代理銷售*的材料測試儀器,產(chǎn)品來自歐、美、日等在行業(yè)內(nèi)的設(shè)備供應商。公司擁有行業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的技術(shù)人員與專業(yè)化服務團隊,可提供有效的設(shè)備技術(shù)支持,乃至實驗室整體解決方案。

      英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D使用渦輪泵,前級為旋轉(zhuǎn)機械泵,整個抽真空過程為自動控制
      英國Emitech高真空離子濺射儀 產(chǎn)品信息

      英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D使用“渦輪”泵,前級為旋轉(zhuǎn)機械泵,整個抽真空過程為自動控制。真空度可調(diào)整,以適應鉻或其它易氧化金屬,以及金靶等不同材料要求,定時器可設(shè)置成不同的濺射時間。

      本系統(tǒng)裝配了磁控管靶,靶面直徑為54 mm,可快速更換靶材。

      濺射頭用Peltier制冷,可得到高性能、精細顆粒的涂層(無需水冷卻)。

      濺射時參數(shù)可預設(shè),包括氣體放氣電磁閥。

      K575D(雙頭)其它與K575X相同,只是具有兩個濺射頭。在進行特殊涂層的應用時,不需要打開真空即可進行兩層沉積濺鍍。

      注:K575D技術(shù)規(guī)格與K575X相同,但它有雙頭。K575X具有peltier制冷,對于比較厚的沉積,通常用K575D(雙頭)單元。

      英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D的主要特點

      1、全自動控制

      2、Peltier冷卻濺射頭

      3、精細鍍層(0.5nm Cr粒子)

      4、可傾斜的特殊旋轉(zhuǎn)臺作為標準配置

      5、薄膜沉積(典型為5nm)

      6、直徑為165mm腔室

      7、可選雙濺射頭

      8、可接膜厚測控儀

      優(yōu)點:

      ● 可濺射易氧化金屬精細顆粒,如:鉻(Cr)或銥(Ir)

      ● 應用范圍廣,除了可選濺射常用金屬靶材如:金銀鉑鈀銅錫鋁鎂鐵鈷鎳鉻鈦鉬鎢銥鉭等單質(zhì)純金屬靶材之外,還可選配金鈀合金靶、鉑鈀合金靶、碳靶以及ITO(氧化銦錫)靶等特殊靶材

      ● 易操作

      ● 無需水冷卻

      ● 高分辨率,可復制涂層

      ● 適應各種樣品

      ● 重復膜厚沉積

      ● 樣品容易裝載和卸載

      ● 不需要打開真空即可進行順序涂層

      ● 沉積厚度可預設(shè)

      英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D的技術(shù)參數(shù)

      1、儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H

      2、工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H

      3、安全鐘罩:聚碳酸酯

      4、基座:110 mm直徑 x 115mm高

      5、重量:42公斤

      6、靶:54 mm 直徑 x 0.2mm 厚(鉻作為標準靶材)

      7、樣品臺:50mm直徑,具有傾斜功能的旋轉(zhuǎn)樣品臺

      8、操作真空:1 x 10-2 mbar到 1 x 10-4 mbar

      9、濺射電流:0-150mA

      10、沉積速率:0-20nm/分

      11、濺射定時:0-4 分鐘

      12、渦輪分子泵:60 litres/Second (極限真空 1x10-8 mbar)

      13、真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr

      14、電源:230伏/50Hz(包括泵電流為6安培)

      關(guān)鍵詞:定時器
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