Leica 離子減薄儀EM TIC020三重離子束的斜面切割功能為掃描電鏡分析樣品提供精確和高效的樣品制備。
技術(shù)參數(shù)
1、減薄深度速度 1500um 120um/H
2、三束離子槍
3、高真空,內(nèi)置2級(jí)泵
主要特點(diǎn)
1、大多數(shù)的材料都能削減到高質(zhì)量的橫截面
2、TEM樣品斷面快速制用
3、大樣品制備可達(dá)到50X50X10 mm 大面積切割FIB技術(shù)
4、前機(jī)械處理工作減到最少
5、三重離子束的銑削率高,切面寬而深
6、SEM截面樣品使用EDS,WDS,AUGER AND EBSD