GPI XP/D激光干涉儀--運(yùn)用移相干與原理,供給高精度的平面面形,球面面形,曲率半徑,樣品表面質(zhì)量,傳輸波前的測(cè)量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國(guó)乃至較高的一款激光干與儀,廣泛應(yīng)用于科研教育和生產(chǎn)檢測(cè)中。GPI XP/D主機(jī)為Fizeau型干與儀,測(cè)量精度高且操作簡(jiǎn)單,選用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480(可以升級(jí)為1024×1024),合作功能強(qiáng)大MetroPro軟件可以獲得高重復(fù)性和高精度的測(cè)量成果,其三平板測(cè)量重復(fù)性優(yōu)于λ/300,rms重復(fù)性優(yōu)于λ/10,000。并能模仿樣品表面面形,并顯示明顯的,可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖畫(huà),可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計(jì)數(shù)字成果等。同時(shí),針對(duì)特別的樣品、特別的測(cè)量需求,可以為用戶規(guī)劃定制特別的測(cè)量系統(tǒng),結(jié)合MetroPro軟件,為用戶供給的技能解決方案并獲得滿意的測(cè)量成果。
系統(tǒng):
◆測(cè)量功用:精細(xì)測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的外表描摹及特性
◆測(cè)量方法:激光3維相移干涉法
◆測(cè)量功用:精細(xì)測(cè)量各種不同反射面或光學(xué)面的描摹及特性
◆測(cè)量光束直徑:4″(102 mm)和6″(152 mm)
◆裝備:水平式,立式向下或立式向上
◆光學(xué)中心線:4.25″(108 mm)
◆對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng):快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆擴(kuò)大規(guī)模:6:1(非接連式擴(kuò)大,低失真)
◆調(diào)整可視規(guī)模:4″:±3°6″:±2°
◆光曈調(diào)焦規(guī)模:-800 mm/+1600 mm,4″孔徑
◆樣件觀察:計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯現(xiàn)/單獨(dú)監(jiān)視器
◆計(jì)算機(jī):DELL PC;配有硬盤(pán),光驅(qū),17英寸液晶彩顯,可選配打印機(jī)
◆軟件:Microsoft??Windows XP專業(yè)版下運(yùn)行的ZYGO MetroProTM軟件
◆尺寸(高x寬x長(zhǎng)):水平式4″:308 x 694 x 308 mm,水平式6″:308 x 992 x 308 mm,立式:H x 686x686 mm
激光:
◆類型:II級(jí)氦-氖激光
◆波長(zhǎng):632.8 nm
◆通光孔徑輸出功率:≤1 mw
◆光束偏振態(tài):圓偏振,可選線偏振開(kāi)關(guān)
◆相干長(zhǎng)度:>100 m
樣件特性:
◆材質(zhì):各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料
◆預(yù)處理:無(wú)需特殊處理,非接觸、非破壞性測(cè)量,在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中操作。
◆樣件大小(高x寬x長(zhǎng)):254 x 203 x 203 mm(帶2軸調(diào)整架)
◆樣件分量:≤22.7 Kg(帶2軸調(diào)整架)
◆反射率:0.1%-
性能參數(shù):
◆3平板測(cè)量重復(fù)性:λ/300(2σ)
◆RMS重復(fù)性:2λ/10,000(2σ)
◆數(shù)據(jù)采樣:640x480像素,8位,可選:1K x 1K像素
◆分辨率:>λ/8,000
◆條紋分辨率:180條紋
◆數(shù)據(jù)采樣時(shí)刻:低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖畫(huà)):93 ms,高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖畫(huà)):173 ms
環(huán)境要求:
◆溫度:15°C-30°C(60°F-95°F)
◆溫度變化率:<1.0°C/15min
◆濕度:相對(duì)濕度5%-95%,無(wú)凝結(jié)
◆防震:需要阻隔1-120Hz的轟動(dòng)