美國(guó)ZYGO白光干與儀8200
NewView 8200系列的3D光學(xué)表面輪廓儀能夠提供強(qiáng)壯的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌丈量分析。一切的丈量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)壯的分析軟件能夠準(zhǔn)確的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、要害尺度和其它形貌特征。 運(yùn)用zygo的相干掃描干與技術(shù),NewView 8200系列輪廓儀能夠很簡(jiǎn)單的丈量各種原料表面,包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。
體系參數(shù):
◆原理: 非觸摸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器
◆視場(chǎng):規(guī)范裝備:0.04-16mm,跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能可以得到更大范圍
◆光源: 均勻成像,高效率,特殊規(guī)劃長(zhǎng)壽命白光LED
◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助聚集)
◆丈量陣列:標(biāo)配1024×1024 像素;可選分辨率:512×512
◆樣件調(diào)查: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)調(diào)查
◆精細(xì)聚集 :電控手動(dòng)和主動(dòng)聚集
◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),100mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:體系尺寸:151×73×61cm ,NewView:81×58×41cm
◆分量 :體系分量:約229Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)
◆軟件:ZYGO MX軟件
◆物鏡座: 標(biāo)配,可快速裝卸單物鏡夾具
◆物鏡:1X,2X,2.75X,5.5X,10X,20X,50X,100X。
◆塔臺(tái):手動(dòng)6位塔臺(tái);電控 64位塔臺(tái);
◆樣品臺(tái):手動(dòng)/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動(dòng)/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動(dòng)可選
◆縱向掃描范圍:150μm,拓寬掃描形式可到20mm,
◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.34μm(100X物鏡下)
◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點(diǎn): 規(guī)范307200;可選984064;
◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ
◆臺(tái)階丈量 準(zhǔn)確度: ≤ 0.8% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
◆測(cè)樣品特性:各種材料的外表:通明,不通明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆反射率: 0.5-
◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));