產(chǎn)品名稱:膜厚儀 | |
主要技術(shù)指標(biāo): | |
測(cè)量范圍(VIS):15nm—100μm | |
測(cè)量重復(fù)性(RMS):0.086nm | |
測(cè)量精度(與橢偏儀對(duì)比):0.25nm | |
測(cè)量層數(shù):大于3層 | |
使用光源:鹵素?zé)簦?/span> | |
入射角度:90° | |
測(cè)試材料:透明或半透明薄膜材料; | |
光斑尺寸:20μm—3mm(可選) | |
測(cè)量時(shí)間:100ms—4ms; | |
通信接口:USB2.0 | |
產(chǎn)品特點(diǎn): | |
采用光譜干涉原理進(jìn)行測(cè)量,具有非接觸、無(wú)破壞、快速等特點(diǎn); ![]() 測(cè)試數(shù)據(jù):![]() 設(shè)備組成:測(cè)試主機(jī)、光纖、校正件、測(cè)量頭、夾持裝置、設(shè)備箱、手提電腦。 |
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微控設(shè)備
薄膜測(cè)厚儀 產(chǎn)品信息