– 速度:6000片/小時(shí)(根據(jù)不同舟型會(huì)有變動(dòng))
– 極低的破損:≤0.03%,先導(dǎo)設(shè)計(jì)的精密吸片系統(tǒng)和石墨舟定位機(jī)構(gòu),保證了極低的碎片率
– 運(yùn)行時(shí)間高達(dá)98.5%:成熟的設(shè)備和軟件設(shè)計(jì),機(jī)構(gòu)品牌機(jī)械臂+久經(jīng)考驗(yàn)的零部件=良好的品質(zhì)氧化
– 鋯陶瓷吸盤,對(duì)膜面損傷降到,減少吸盤印隱患
– 帶有掉片、漏吸檢測(cè)功能,標(biāo)配人工干預(yù)位及吸筆
– 預(yù)留PL工位,可兼容面陣及線掃AOI相機(jī),可從硅片上方檢測(cè)也可在硅片下方檢測(cè),有效的避免了硅片劃傷
– 具有RFID花籃追蹤、AGV小車對(duì)接等功能
– Softtouch工作理念:動(dòng)作過程中與硅片接觸搬運(yùn)過程中均輕柔動(dòng)作,以減少碎片
– 方便的操作與維護(hù):PLC控制人機(jī)界面易于使用和理解,安裝時(shí)間短
本設(shè)備為產(chǎn)品,仿冒必究!