概 述
高溫型藍(lán)寶石壓力變送器由單晶絕緣體元素組成,不會(huì)發(fā)生滯后、疲
勞和蠕變;鈦合金雙膜片制造工藝有著非常好的彈性和絕緣特性,對(duì)
溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;可應(yīng)
用于各種大量程,高溫度的復(fù)雜工礦。
用 途
I 潛油電泵,科研院所等高溫高壓特種設(shè)備
I 熱蒸汽、熱能交換等系統(tǒng)
I 航空、航天領(lǐng)域
I 石油開(kāi)采,發(fā)電廠,核電站
I 高溫的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)過(guò)程壓力控制
特 點(diǎn)
I 0MPa~260MPa大量程壓力測(cè)量
I -40℃~130℃高溫度范圍
I 工作穩(wěn)定,可靠性高,雙膜片結(jié)構(gòu)鈦合金金屬膜片過(guò)載性能優(yōu)良
I 藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會(huì)發(fā)生遲滯、疲勞和蠕變
I 自帶過(guò)壓、瞬間過(guò)流、電源反極性電路保護(hù)
I 可測(cè)量粘稠或結(jié)晶液體固體顆粒中的氣體懸浮物等
原 理
藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變
現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固,硬度更高,不怕形變;藍(lán)寶石有著非常好
的彈性和絕緣特性(1000℃以內(nèi)),因此,利用硅—藍(lán)寶石制造的半
導(dǎo)體敏感元件,對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好
的工作特性。藍(lán)寶石的抗輻射性;另外,硅—藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感
元件無(wú)p-n漂移,因此,從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝,提高了重復(fù)性,
確保了高成品率。
用硅—藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在
.惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極
小、性價(jià)比高。
表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金測(cè)量膜片和鈦合
金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,被
焊接在鈦合金測(cè)量膜片上。被測(cè)壓力傳送到接收膜片(接收膜片與測(cè)
量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接
收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅—藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋輸出
會(huì)發(fā)生變化,變化的幅度與被測(cè)壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,并將應(yīng)變電橋的失
衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出。
在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍(lán)寶石薄片與陶瓷基極玻璃焊料
連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形
變,從而達(dá)到壓力測(cè)量的目的。