高度/變形 在線高度/變形 檢測(cè)系統(tǒng)
精密在線輪廓檢測(cè)系統(tǒng),輪廓檢測(cè)系統(tǒng),在線檢測(cè)系統(tǒng)
高度/變形
在特定的范圍內(nèi)多點(diǎn)測(cè)量高度
可測(cè)量平均高度、zui大高度及zui小高度。透過(guò)計(jì)算特定點(diǎn)的高度可測(cè)出變形或膨脹度。
激光位移傳感器 (2D)
輪廓/截面
瞬間測(cè)量/判定截面
可在特定的范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測(cè)量截面面積。這樣便可以對(duì)輪廓和截面進(jìn)行質(zhì)量控制。
角度/交點(diǎn)/位置
自動(dòng)計(jì)算角度/交點(diǎn)
可根據(jù)表面輪廓實(shí)時(shí)測(cè)量/判定角度、交點(diǎn)及邊緣位置。
寬度/間隙
透過(guò)特定測(cè)量模式測(cè)量寬度/間隙
根據(jù)表面輪廓測(cè)量寬度及間隙。在進(jìn)行高精度測(cè)量的同時(shí)不受目標(biāo)物顏色的影響。
高度/變形
在特定的范圍內(nèi)多點(diǎn)測(cè)量高度
可測(cè)量平均高度、zui大高度及zui小高度。透過(guò)計(jì)算特定點(diǎn)的高度可測(cè)出變形或膨脹度。
可應(yīng)對(duì)任何情況的功能,源自高性能的可靠性
超高的再現(xiàn)性0.005um
超高的精度0.02%
超快的速度392 kHz