2、采用HAN'S大推力U型直線電機(jī),運(yùn)動(dòng)平滑,無(wú)紋波推力;
3、龍門雙驅(qū)控制,運(yùn)動(dòng)精度高,定位精度±2μm,重復(fù)定位精度±0.5μm ;
4、可給不同客戶定制氣浮直線電機(jī)運(yùn)動(dòng) 平臺(tái)系統(tǒng),提供全套控制解決方案 。


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