采用高壓發(fā)生器產生并形成低溫等離子體，在平均能量大約在的大量作用下，使通過凈化器的廢氣成分苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室內每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開，通過高壓線對反應室導通可調節(jié)高壓，高壓導通道管子里的冠狀電線上，由電線至管壁產生放電現(xiàn)象。

一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以出塵，同時注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應室的濕度和溫度等級，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。