光學(xué)膜厚測試儀是通過光學(xué)原理,對(duì)透明物質(zhì)進(jìn)行膜厚測試的設(shè)備。
可用于玻璃、石墨烯、氧化鋁等的膜厚測試
技 術(shù) 參 數(shù) | ||
項(xiàng)目 | 可見光 反射/投射儀 波長范圍(380-780nm) | 紫外+可見光 反射/投射儀 波長范圍(250-1100nm) |
型號(hào) | RO4004 | RO4014 |
厚度測量范圍 | 15nm-100um | 1nm-100um |
折射率 | 厚度要求100nm以上 | 厚度要求50nm以上 |
準(zhǔn)確率 | 2nm/0.5% | |
精度 | 0.1nm | |
測量時(shí)間 | 小于 1s | |
光板大小 | 約1mm |