表面處理機(jī)/可以濺射可以蒸碳 型號(hào):KM1-SBC-2庫(kù)號(hào)：M208809 多功能試樣表面處理機(jī)是為掃描電鏡和電子探針等進(jìn)行試樣制備的設(shè)備，可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析，尤其是成分的定量分析為適宜。本儀器裝有機(jī)械泵、分子泵，分子泵系統(tǒng)適用于對(duì)真空要求高、真空環(huán)境好的用戶選用?！?主要用途：真空鍍膜，離子濺射，真空蒸碳等?！?主要特點(diǎn)：抽速快，操作簡(jiǎn)便，真空度高 。規(guī) 格一、試樣處理室（1）鐘罩：內(nèi)徑250mm×高度340mm（2）玻璃處理室：玻璃罩 A:內(nèi)徑88mm×高度140mm玻璃罩 B:內(nèi)徑88mm×高度57mm（3）試樣臺(tái)：直徑40mm（大）（4）試樣旋轉(zhuǎn)：電動(dòng)（5）擋板：電動(dòng)（6）蒸發(fā)加熱器：可同時(shí)安裝兩個(gè)加熱器二、真空系統(tǒng)（1）抽氣系統(tǒng)：由分子泵、機(jī)械泵組成的高真空機(jī)組（2）真空檢測(cè)：金屬電阻規(guī)、冷規(guī)（3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa（4）操作：手動(dòng)三、處理電源：（1）高壓電源：DC 2000V 10mA連續(xù)可變，用表指示。（2）低壓電源：AC 10V 60A連續(xù)可變，電流用表指示。四、體積重量：（1）體積：L800mm×W560mm×H1340mm（2）重量：約150公斤五、電源要求：AC 220V 50Hz 10A六、氣體要求：氬氣--純度99.9%(對(duì)樣品有特殊要求時(shí)可使用)七、冷卻要求：本系統(tǒng)采用F100/110F普通軸承風(fēng)冷渦輪分子泵，其冷卻方式為風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷、通水冷卻兩種，當(dāng)工作環(huán)境溫度低于攝氏32度時(shí)，可采用風(fēng)冷冷卻，當(dāng)工作環(huán)境溫度高于攝氏32度時(shí)，則 采用水冷。目前本系統(tǒng)標(biāo)配為風(fēng)扇風(fēng)冷形式。